超純水設備的反滲透膜在出現一些情況後需要進行清洗，才能恢複其性能。

當系統運行出現下列情況時，應進行化學清洗操作：

       1、装置产水量比初始投运时(上次清洗后)降5～10%。

       2、装置脱盐率比初始运行时(或上次清洗后)降5～10%。

       3、装置各段压力差比初始投运时(或上次清洗后)增加1倍时。

       4、装置若长期停运且用甲醛保护，系统重新启动前。

       出现以上四种情况之一时，反渗透膜应进行清洗。清洗方法有二种，即低压水冲洗(0.3Mpa)或化学药剂清洗。一般应尽力采用低压水清洗，当不能得到良好清洗效果时再采用药剂清洗。当采用药剂清洗时，无机结垢污染物，推荐使用酸性清洗液;微生物或有机污染物，推荐使用碱性清洗液。